掃描(miáo)電鏡(jìng)(SEM)全稱(chēng)掃描電(diàn)子顯微鏡
，它是(shì)利用掃描(miáo)電(diàn)子顯微鏡(jìng)(SEM)對(duì)樣(yàng)品(pǐn)進(jìn)行微觀形貌，成分(fēn)和(hé)結(jié)構信(xìn)息的檢測(cè)和(hé)分析。SEM通過(guò)高(gāo)能(néng)電(diàn)子束掃描(miáo)樣品(pǐn)表(biǎo)麵
，收(shōu)集並(bìng)放大電(diàn)子(zǐ)與(yǔ)樣(yàng)品相互(hù)作用(yòng)產生的各種信(xìn)號
，從(cóng)而(ér)生成(chéng)高分辨率的圖像
，並(bìng)可以進(jìn)行(háng)成(chéng)分分(fēn)析(xī)‌。

掃描電鏡(jìng)檢測(cè)方(fāng)法及標準解讀(dú)

掃描(miáo)電(diàn)鏡檢測(cè)方(fāng)法(fǎ)

‌（1）納(nà)米(mǐ)材料‌：SEM可(kě)用(yòng)於(yú)觀(guān)察納米材料的(dí)結(jié)構，顆(kē)粒尺(chǐ)寸，分(fēn)布(bù)，均(jūn)匀(yún)度及(jí)團聚情況(kuàng)
，結合能(néng)譜還(huán)可(kě)以對(duì)納米材(cái)料(liào)的微(wēi)區(qū)成分進行(háng)分析
，確定材料的(dí)組(zǔ)成‌。

‌‌（2）高分(fēn)子(zǐ)材料‌：SEM可(kě)以揭示高(gāo)分子(zǐ)材料(liào)的表麵形(xíng)態和內部(bù)結構
，觀(guān)察(chá)高(gāo)分子材料的(dí)老化(huà)，疲(pí)勞(láo)，拉伸(shēn)及扭轉過程中(zhōng)的斷(duàn)口斷裂與(yǔ)擴散(sàn)情況‌。

‌（3）‌金屬(shǔ)材料(liào)‌：SEM可以分析(xī)金屬(shǔ)材料的(dí)微(wēi)觀(guān)組織(zhī)，斷(duàn)裂模式和表(biǎo)麵磨損，腐蝕和(hé)形變(biàn)情況(kuàng);還(huán)可以分析(xī)鋼鐵產品(pǐn)的(dí)質(zhì)量和缺(quē)陷(xiàn)(如氣泡(pào)，顯(xiǎn)微裂紋，顯(xiǎn)微(wēi)縮孔(kǒng)等(děng));結合(hé)能譜(pǔ)可(kě)確定金屬與合(hé)金各(gè)元素的偏(piān)析(xī)情況
，觀(guān)察(chá)物(wù)相並進行(háng)成分(fēn)識別‌。

‌（4）‌陶(táo)瓷(cí)材料‌：SEM可用(yòng)於(yú)觀察陶瓷材(cái)料的顯(xiǎn)微結(jié)構和孔隙分(fēn)布
，分析陶(táo)瓷(cí)材(cái)料的原料，成品(pǐn)的顯微結構及缺陷
，包括(kuò)晶相(xiāng)，晶(jīng)體(tǐ)大小(xiǎo)，雜質(zhì)，氣孔(kǒng)等‌

掃(sǎo)描電(diàn)鏡檢(jiǎn)測標準

GB/T16594-2008 微(wēi)米級長度的掃(sǎo)描電(diàn)鏡測量方法通則

GB/T17362-2008 黃(huáng)金(jīn)製(zhì)品的(dí)掃描(miáo)電鏡X射(shè)綫能譜分(fēn)析方(fāng)法(fǎ)

GB/T17722-1999 金(jīn)覆(fù)蓋層厚度的(dí)掃描電鏡(jìng)測量(liáng)方(fāng)法

GB/T20307-2006 納米級長度(dù)的掃(sǎo)描(miáo)電鏡測(cè)量(liáng)方法通則

GB/T25189-2010 微束(shù)分(fēn)析(xī)掃(sǎo)描電(diàn)鏡能(néng)譜儀定量分(fēn)析參數的測(cè)定(dìng)方法(fǎ)

GB/T27788-2020 微束(shù)分析(xī)掃(sǎo)描電鏡(jìng)圖像(xiàng)放(fàng)大倍率(shuài)校準(zhǔn)導則

GB/T30834-2022 鋼中(zhōng)非(fēi)金屬夾雜(zá)物(wù)的評定(dìng)和統計(jì)掃描(miáo)電(diàn)鏡法(fǎ)

GB/T31563-2015 金(jīn)屬覆(fù)蓋(gài)層(céng)厚度測量掃(sǎo)描電鏡法

GB/T35097-2018 微(wēi)束(shù)分(fēn)析(xī)掃描電(diàn)鏡-能譜法(fǎ)環(huán)境空氣(qì)中(zhōng)石棉(mián)等(děng)無機(jī)纖維狀顆(kē)粒(lì)計數(shù)濃度(dù)的(dí)測定(dìng)

GB/T35099-2018 微束(shù)分析(xī)掃描(miáo)電鏡-能(néng)譜法大(dà)氣細(xì)粒(lì)子單顆(kē)粒(lì)形(xíng)貌與(yǔ)元素分析(xī)

掃(sǎo)描電鏡檢(jiǎn)測(cè)方(fāng)法及標(biāo)準解讀(dú)